[发明专利]检查装置及被处理物检查方法

说明书

本发明提出在检查被处理物的缺陷时能够由一个装置检查各种被处理物的缺陷的检查装置及被处理物检查方法，作为检查装置包括：支撑部，支撑被处理物；去除部，配置在所述支撑部的上侧，利用激光束选择性地去除形成在所述被处理物上部的膜的一部分；检查部，配置在所述支撑部上侧，并且接触于所述被处理物的元件以收发信号；光学部，在所述支撑部上侧向着所述检查部配置，从而可观察所述检查部；及控制部，利用由所述光学部观察到的图像，以控制所述检查部的移动。

技术领域

本发明涉及检查装置，更详细地说涉及在检查被处理物的缺陷时能够由一个装置检查各种被处理物缺陷的检查装置及被处理物检查方法。

背景技术

液晶显示装置(Liquid Crystal Display,LCD)或有机发光显示装置(OrganicLight Emitting Display,OLED)等的平板显示装置具有相互面对的下部基板与上部基板，在这之间填充液晶层或有机物层等，在下部基板形成多个电极闸线和数据线并且形成矩阵结构，在这之间形成多个像素。为了个别驱动像素，每个像素形成薄膜晶体管等的动作元件(例如，切换元件)。

另外，在制造平板显示装置的过程中，若在下部基板的像素、电极闸线、数据线及薄膜晶体管等附着异物质或出现短路或断线等各种缺陷，则该像素无法正常运行。因此，若在平板显示装置的下部基板形成多个像素、电极闸线、薄膜晶体管等，则检查下部基板的缺陷，实施修复确认到的缺陷的一连的过程。

在现有技术中，检查基板的缺陷的各种过程不是在一个装置实施的，而是在相互不同的各个装置实施，据此存在降低工艺效率进而降低整体工艺的生产性的问题

(现有技术文献)

(专利文献)

(专利文献0001)KR10-2015-0042759A

(专利文献0002)KR10-2004-0104015A

发明内容

(要解决的问题)

本发明提供能够由一个装置以各种方法检查被处理物的缺陷的检查装置及被处理物检查方法。

并且，本发明提供同时或依次生成被处理物的各种缺陷信息，并对生成的缺陷信息进行分类及保存的检查装置及被处理物检查方法。

(解决问题的手段)

根据本发明实施形态的检查装置包括：支撑部，支撑被处理物；去除部，配置在所述支撑部的上侧，利用激光束选择性地去除形成在所述被处理物上部的膜的一部分；检查部，配置在所述支撑部上侧，并且接触于所述被处理物的元件以收发信号；光学部，在所述支撑部上侧向着所述检查部配置，从而可观察所述检查部；及控制部，利用由所述光学部观察到的图像，以控制所述检查部的移动。

检查装置可包括：第一观察部，配置在所述支撑部上侧，并且利用电子束生成所述被处理物的图像信息及成分信息中的至少一种；第二观察部，配置在所述支撑部的上侧，并且以比所述第一观察部低的倍率生成所述被处理物的三维图像信息。

检查装置可包括：工作台，上部设置有所述支撑部；及安装部，设置在所述工作台，并且安装并支撑所述去除部、检查部、光学部、第一观察部及第二观察部。

所述检查部可具有向所述支撑部向下倾斜配置的多个探头。

所述控制部可包括：动作控制部，从由所述光学部观察到的所述探头的图像生成所述探头的端部坐标，并对比所述探头的端部坐标与基准坐标，判断所述探头与所述被处理物是否接触，利用判断结果控制所述探头移动。

所述控制部可包括：收集部，接收并分类由所述第一观察部及第二观察部生成的信息与所述检查部的检查结果信息；储存部，接收并保存由所述收集部分类的信息。