[发明专利]一种基于扫描电子显微镜的原位高温压痕测试系统在审
| 申请号： | 201610522131.5 | 申请日： | 2016-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN105928812A | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 张跃飞;王晋;赵波慧 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G01N3/54 | 分类号： | G01N3/54;G01N3/06 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 100000 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 扫描 电子显微镜 原位 高温 压痕 测试 系统 | ||
【权利要求书】：
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