[发明专利]一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法有效
| 申请号： | 201610524992.7 | 申请日： | 2016-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN106012027B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 吴王平;蒋金金;刘雪东;丁建宁 | 申请（专利权）人： | 常州大学 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213164 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 碱洗 酸绒 酸洗 预洗 多晶硅 槽体 链式 酸碱 设备利用率 单晶硅 多晶硅制绒 有效地减少 单晶制绒 多晶制绒 人力成本 使用寿命 多晶 配液 上料 下料 制绒 能耗 节约 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州大学，未经常州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610524992.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
