[发明专利]沉积装置用微波传输装置有效
| 申请号： | 201610527970.6 | 申请日： | 2016-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN106337166B | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 黄秉檍;郑萤雪;都在辙;金炅汉 | 申请（专利权）人： | 亚威科股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 微波 传输 | ||
【权利要求书】：
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