[发明专利]柔性多结太阳电池及其制作方法

权利要求书

1.柔性多结太阳电池，从下至上依次包括柔性衬底、键合金属层、外延结构，所述外延结构不含有生长衬底，所述柔性衬底为比所述键合金属层热膨胀系数低的金属材料薄膜，采用沉积形成，所述薄膜既提供一定柔韧性的支撑作用，也平衡所述键合金属层对外延结构的拉应力，使所述电池在最终使用之前处于平整状态。

2.根据权利要求1所述的柔性多结太阳电池，其特征在于：所述金属材料薄膜的热膨胀系数与所述外延结构的热膨胀系数的差值小于或等于±4×10^-6 /℃。

3.根据权利要求1所述的柔性多结太阳电池，其特征在于：所述金属材料薄膜的热膨胀系数为4~7×10^-6 /℃。

4.根据权利要求1所述的柔性多结太阳电池，其特征在于：所述金属材料薄膜的厚度为10~30μm。

5.根据权利要求1所述的柔性多结太阳电池，其特征在于：还包括位于所述外延结构之上的减反射膜，其为单层或多层结构，当为多结结构时，从外延结构表面开始，所述减反射层膜的折射率依次降低。

6.根据权利要求1所述的柔性多结太阳电池，其特征在于：所述金属材料薄膜的材料为Wu、Mo、Ge或其合金材料。

7.柔性多结太阳电池的制作方法，包含如下步骤：

（1）提供第一衬底和倒装生长的多结电池外延结构；

（2）分别在所述第一衬底和外延结构的表面上形成键合金属层，将所述第一衬底和外延结构进行金属键合；

（3）将上述外延结构分隔成单颗芯粒结构；

（4）在所述外延结构远离所述第一衬底的一侧表面上形成具有一定支撑作用的可去除支撑层；

（5）去除所述第一衬底，露出所述键合金属层表面；

（6）在露出键合键层表面上形成一比所述键合金属层热膨胀系数低的金属材料薄膜，所述金属材料薄膜作为柔性衬底用于提供一定柔韧性的支撑作用，同时平衡所述键合金属层对外延结构的拉应力，使所述电池在最终使用之前处于平整状态；

（7）去除所述可去除支撑层。

8.根据权利要求7所述的柔性多结太阳电池的制作方法，其特征在于：所述步骤(4)中，所述可去除支撑层为热熔性可剥离胶带。

9.根据权利要求7所述的柔性多结太阳电池的制作方法，其特征在于：所述步骤(6)中形成的所述金属材料薄膜的热膨胀系数为4~7×10^-6 /℃。

10.根据权利要求7所述的柔性多结太阳电池的制作方法，其特征在于：所述步骤(6)中形成的所述金属材料薄膜的厚度为10~30μm。