[发明专利]一种样品空间扫描及定位装置有效
| 申请号： | 201610532956.5 | 申请日： | 2016-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN106198407B | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 窦秀明;丁琨;孙宝权 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;G01N21/64;G01N21/01 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 样品 空间 扫描 定位 装置 | ||
【权利要求书】：
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