[发明专利]一种Ag‑Mg‑Al合金次级发射阴极材料及其制备方法

权利要求书

1.一种Ag-Mg-Al三元合金次级发射阴极的制备方法，其特征在于，主要按照下列步骤制备：

A.以金属银充当基体材料，以金属Mg、Al充当活性物质，使用感应熔炼炉熔炼制备Ag-Mg-Al合金坯体；

B.将熔炼好的Ag-Mg-Al合金坯体进行冷轧、退火、表面磨抛光和裁切，得到合金薄片；

C.Ag-Mg-Al合金薄片在低真空条件下通入微量氧气进行热活化处理，在材料表面得到80-120nm的MgO-Al₂O₃复合薄膜层。

2.按照权利要求1的一种Ag-Mg-Al合金阴极的制备方法，其特征在于，步骤A中的Ag-Mg-Al合金中1.0～6.0wt％Mg、0.5～4.0wt％Al。

3.按照权利要求1的一种Ag-Mg-Al合金阴极的制备方法，其特征在于，步骤A中的感应熔炼工艺为：在熔炼炉石英管中放入样品，用机械泵预抽真空至0.5Pa，再充入微量低压50Pa高纯氩气保护，通过感应加热升温至1250℃，保温2min后自然冷却至室温。

4.按照权利要求1的一种Ag-Mg-Al合金阴极的制备方法，其特征在于，步骤B中的退火工艺为：样品放入管式炉内，在持续通入氩气保护条件下升温至450℃保温70min后自然冷却至室温。

5.按照权利要求1的一种Ag-Mg-Al合金阴极的制备方法，其特征在于，步骤B中的表面磨抛光工艺为：依次采用800#、2000#、3000#SiC砂纸磨光，之后依次用2.5μm、1.0μm金刚石抛光膏抛光合金薄片表面。

6.按照权利要求1的一种Ag-Mg-Al合金阴极的制备方法，其特征在于：步骤C中的热活化工艺为：在0.5～50.0Pa低压氧气气氛下将Ag-Mg-Al合金薄片加热至400～700℃，保温10～60min。

7.按照权利要求1-6任一项制备方法制备得到的Ag-Mg-Al合金阴极。