[发明专利]一种硅通孔结构及其制作方法在审
| 申请号： | 201610535367.2 | 申请日： | 2016-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN106057757A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 李春泉;谢星华;黄红艳;尚玉玲;张明;周远畅;谢小天 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L23/48 | 分类号： | H01L23/48;H01L21/768 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人： | 刘梅芳 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅通孔 结构 及其 制作方法 | ||
【说明书】：
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