[发明专利]一种以钛酸钡为主相的场致发射阴极及其制备方法有效
| 申请号： | 201610538536.8 | 申请日： | 2016-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN106098502B | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 赵丽丽;刘艳秋;翟春雪;王斌;闫军锋;许曼章 | 申请（专利权）人： | 西北大学 |
| 主分类号： | H01J1/304 | 分类号： | H01J1/304;H01J9/02 |
| 代理公司： | 西安恒泰知识产权代理事务所61216 | 代理人： | 孙雅静 |
| 地址： | 710069 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钛酸钡 为主 发射 阴极 及其 制备 方法 | ||
1.一种制备以钛酸钡为主相的场致发射阴极的方法，其特征在于，包括采用溶胶-凝胶法在基底上制备钛酸钡前躯体凝胶薄膜，带有钛酸钡前躯体凝胶薄膜的基底煅烧后得到带有钛酸钡籽晶的基底，再采用水热法在带有钛酸钡籽晶的基底上生长以钛酸钡为主相的一维纳米材料；
以钛酸钡为主相的场致发射阴极包括基底，基底上沉积有一维纳米材料，该一维纳米材料以钛酸钡为主相；所述的一维纳米材料还包括碳酸钡和硅钛酸钡；所述的一维纳米材料为直径是45～150nm的实心线状或中空管型的一维纳米材料，中空管型的一维纳米材料的管壁厚度为30～36nm；所述的基底为抛光后的硅片。
2.如权利要求1所述的制备以钛酸钡为主相的场致发射阴极的方法，其特征在于，所述的采用水热法在带有钛酸钡籽晶的基底上生长以钛酸钡为主相的一维纳米材料包括：以TiO2为Ti源，以Ba(OH)2·8H2O为Ba源，按照摩尔比为Ba:Ti＝1.2:1的添加量，在pH>12、水热温度为150～180℃和水热时间为8～12h的条件下在带有钛酸钡籽晶的基底上生长以钛酸钡为主相的一维纳米材料。
3.如权利要求1所述的制备以钛酸钡为主相的场致发射阴极的方法，其特征在于，所述的采用溶胶-凝胶法在基底上制备钛酸钡前躯体凝胶薄膜包括：醋酸钡溶解在醋酸中得到透明澄清的醋酸钡溶液；钛酸丁酯溶解在无水乙醇中得到钛酸丁酯溶液；醋酸钡溶液与钛酸丁酯溶液按照摩尔比为1:1混匀得到胶体，将胶体分两次、每次依次经转速依次为700转/分钟、2500转/分钟和3500转/分钟各5秒的转速在基底上甩胶并经过60℃、10min干燥后得到钛酸钡前躯体凝胶薄膜。
4.如权利要求1所述的制备以钛酸钡为主相的场致发射阴极的方法，其特征在于，所述的煅烧温度为800℃，煅烧时间为2h。
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