[发明专利]一种消除硅芯异常的方法有效
| 申请号： | 201610539047.4 | 申请日： | 2016-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN106191994B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 鲍守珍;王丙军;高承燕;李超军;何乃栋;蔡延国;宗冰;王体虎 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 陈正兴 |
| 地址： | 810007 青海省*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 循环氢 介孔分子筛 硅芯 媒介 氮化物 还原炉 氧化物 氮气 多晶硅产品 还原炉底盘 两步预处理 三氯氢硅 一步处理 异常问题 炉底盘 有效地 富集 炉内 内件 涂覆 氧气 吸收 | ||
【权利要求书】：
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