[发明专利]一种钼铝钼蚀刻液在审
| 申请号： | 201610539322.2 | 申请日： | 2016-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN107587135A | 公开（公告）日： | 2018-01-16 |
| 发明（设计）人： | 康威;鄢艳华;尹静雅;陈昊 | 申请（专利权）人： | 深圳新宙邦科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26;C23F1/20 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所44275 | 代理人： | 张明 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钼铝钼 蚀刻 | ||
1.一种钼铝钼蚀刻液，其特征在于，以钼铝钼蚀刻液的总重量为基准，包括：磷酸35-45％、硝酸1-3％、冰醋酸8-12％、添加剂0.5-1.0％和去离子水39-55.5％；所述添加剂包括有机多元膦酸类物质、胺类物质和盐类物质。
2.根据权利要求1所述的钼铝钼蚀刻液，其特征在于，以钼铝钼蚀刻液的总重量为基准，有机多元膦酸类物质和胺类物质总含量为0.35-0.7％，盐类物质含量为0.15-0.3％。
3.根据权利要求2所述的钼铝钼蚀刻液，其特征在于，以钼铝钼蚀刻液的总重量为基准，有机多元膦酸含量为0.3-0.6％，胺类物质含量为0.05-0.1％。
4.根据权利要求1-3中任意一项所述的钼铝钼蚀刻液，其特征在于，所述有机多元膦酸类物质选自羟基亚乙基-1,1-二膦酸、氨基三亚甲基膦酸、二乙烯三胺五亚甲基膦酸、三乙烯四胺六亚甲基膦酸、双(1,6-亚己基)三胺亚甲基膦酸、多氨基多醚基四亚甲基膦酸或乙二胺四甲叉膦酸中的至少一种。
5.根据权利要求1-3中任意一项所述的钼铝钼蚀刻液，其特征在于，所述胺类物质为三乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、N,N-二甲基甲酰胺或N,N-二甲基乙酰胺中的至少一种。
6.根据权利要求1-3中任意一项所述的钼铝钼蚀刻液，其特征在于，所述盐类物质为乙酸钠盐。
7.根据权利要求6所述的钼铝钼蚀刻液，其特征在于，所述盐类物质为氮川三乙酸三钠、二乙基三胺五乙酸五钠、羟乙基二胺四乙酸三钠或乙二胺四乙酸二钠中的至少一种。
8.根据权利要求1-3中任意一项所述的钼铝钼蚀刻液，其特征在于，所述钼铝钼蚀刻液的粘度为3.87mpa·s以下。
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