[发明专利]一种基于静电激励/电容检测微桥谐振器的薄膜热电变换器的结构与制作方法有效
| 申请号： | 201610541376.2 | 申请日： | 2016-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN106449960B | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 韩建强;张杰;牛文举;尹伊君;程冰 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | H01L35/32 | 分类号： | H01L35/32;H01L35/34 |
| 代理公司： | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人： | 沈敏强 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 静电 激励 电容 检测 谐振器 薄膜 热电 变换器 结构 制作方法 | ||
【说明书】：
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