[发明专利]硅片喷砂机用硅片输送装置有效
| 申请号： | 201610542251.1 | 申请日： | 2016-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN106005886B | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 李名扬;雷深皓;王猛;唐宵汉;刘佳;张凯;张金光;陈永胜 | 申请（专利权）人： | 北京合德丰材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G17/12 | 分类号： | B65G17/12;B65G17/46 |
| 代理公司： | 北京格允知识产权代理有限公司 11609 | 代理人： | 李亚东 |
| 地址： | 100068 北京市丰台*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 载台 输送架 固定硅片 真空腔室 固定盘 硅片输送装置 传动装置 固定区域 输送装置 喷砂机 长度方向设置 硅片制造 可移动地 输送效率 紧固夹 通气孔 擦痕 盖设 连通 破碎 体内 移动 | ||
【说明书】：
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B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G 运输或贮存装置，例如装载或倾斜用输送机；车间输送机系统；气动管道输送机
B65G17-00 具有环形牵引元件，如链条的输送机，牵引元件将运动传递给连续的或基本上连续的载荷运载表面或传递给一系列单个载荷运载体；由链条构成载荷运载表面的环形链输送机
B65G17-02 . 包含固定到或安置在牵引元件上的载荷运载带
B65G17-06 . 具有由一系列相互连接的，如纵向连杆、板或平台组成的载荷运载表面
B65G17-12 . 包含一系列相对于牵引元件固定的，或通常固定的单独载荷运载体
B65G17-16 . 包含枢轴式安装的单独载荷运载体，如用于摇摆运动
B65G17-20 . 包含有从高架牵引链上悬挂下来的载荷运载体
B65G 运输或贮存装置，例如装载或倾斜用输送机；车间输送机系统；气动管道输送机
B65G17-00 具有环形牵引元件，如链条的输送机，牵引元件将运动传递给连续的或基本上连续的载荷运载表面或传递给一系列单个载荷运载体；由链条构成载荷运载表面的环形链输送机
B65G17-02 . 包含固定到或安置在牵引元件上的载荷运载带
B65G17-06 . 具有由一系列相互连接的，如纵向连杆、板或平台组成的载荷运载表面
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B65G17-20 . 包含有从高架牵引链上悬挂下来的载荷运载体
