[发明专利]氧化铟锡薄膜及其制备方法、含其的阵列基板、显示装置有效
| 申请号： | 201610545577.X | 申请日： | 2016-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN106086797B | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 张启平;孙文波;钱叶甲 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方显示光源有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/35;C23C14/08;H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化 薄膜 及其 制备 方法 阵列 显示装置 | ||
【说明书】：
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