[发明专利]一种等离子体原位表征方法在审
| 申请号： | 201610546553.6 | 申请日： | 2016-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN106053357A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 张婧;石宁;徐伟;孙峰;金满平;朱云峰 | 申请（专利权）人： | 中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司青岛安全工程研究院 |
| 主分类号： | G01N21/27 | 分类号： | G01N21/27;G01N21/84;G01J5/00;G01N27/62;G01R13/02 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 王连君 |
| 地址： | 266071 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 原位 表征 方法 | ||
【权利要求书】：
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