[发明专利]一种数字式快速轴向扫描模块

权利要求书

1.一种数字式快速轴向扫描模块，其特征在于包括有1个或1个以上的DMD扫描模块，各个DMD扫描模块同光轴排列级联，所述的DMD扫描模块包括有2个DMD（数字微镜器件），3个平面反射镜和1~2个透镜组，构成两条不同焦距的光路；所述的DMD扫描模块中，所述的3个平面反射镜分别为中心反射镜、入射反射镜和射出反射镜，所述的中心反射镜安设在模块中心，其余2个平面反射镜和2个DMD分别对称中心反射镜安设在模块的四角，且四点相连成矩形，其中2个DMD的连线平行于中心反射镜并间隔位于中心反射镜的正面前方，2个平面反射镜的连线平行于中心反射镜并间隔位于中心反射镜的背面后方。

2.根据权利要求1所述的数字式快速轴向扫描模块，其特征在于所述的2个平面反射镜与对称轴成45°角对称安设在中心反射镜背面后方两侧，其中入射反射镜安设在模块的光路入射处，反射镜正面朝向入射光和DMD，射出反射镜对称安设在模块的另一侧，入射反射镜和射出反射镜的连线与光轴重合；所述的2个DMD分为前DMD和后DMD，2个DMD与对称轴成57°角对称安设在中心反射镜正面前方两侧，其中前DMD位于入射反射镜一侧，其正面朝内，后DMD对称安设在模块的另一侧。

3.根据权利要求2所述的数字式快速轴向扫描模块，其特征在于所述的模块形成有2条光路，光路一从入射反射镜经前DMD、后DMD至射出反射镜；光路二从入射反射镜经前DMD、中心反射镜、后DMD至射出反射镜。

4.根据权利要求3所述的数字式快速轴向扫描模块，其特征在于在光路二的中心反射镜至后DMD的光路中设置一个透镜组。

5.根据权利要求3或4所述的数字式快速轴向扫描模块，其特征在于在光路一的前DMD至后DMD的光路中设置另一个透镜组。

6.根据权利要求1或2或3或4所述的数字式快速轴向扫描模块，其特征在于所述的DMD、平面反射镜和透镜组均安设在一块底板上。

7.根据权利要求1或2或3或4所述的数字式快速轴向扫描模块，其特征在于在相级联的最后一个DMD扫描模块外的光轴上安设聚焦物镜。

8.根据权利要求3或4所述的数字式快速轴向扫描模块，其特征在于所述的DMD作为光开关切换光路，DMD有两种工作状态，两种工作状态对应两条不同光路，光束经过不同的光路之后产生不同的发散角，经聚焦物镜聚焦后产生不同深度的焦点。

9.根据权利要求8所述的数字式快速轴向扫描模块，其特征在于，每一个单独的模块产生两种不同的光束发散角，n个模块级联，则产生2ⁿ种光束发散角，经聚焦物镜聚焦后在光轴上产生2ⁿ个不同深度的焦点，即轴上扫描点。