[发明专利]一种监控方法、微电子加工方法及装置

权利要求书

1.一种监控方法，用于监控加热部件的加热能力，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1，采集当前输出功率百分比下的加热部件的输出电流值；

步骤S2，判断所述输出电流值是否发生变化，若是，则执行步骤S3，若否，则返回步骤S1；

步骤S3，判断所述当前输出功率百分比下的输出电流值的变化次数是否超出预设变化次数，若是，则执行步骤S4,若否，则返回步骤S1；

步骤S4，通过数据订阅方式或计时器轮询方式获得所述当前输出功率百分比下的标准电流值；

步骤S5，计算当前输出功率百分比下的所述输出电流值与所述标准电流值的差值；

步骤S6，判断所述差值是否超出预设的电流容差范围，若是，则执行步骤S7；若否，则返回步骤S1；

步骤S7，抛出报警。

2.根据权利要求1所述的监控方法，其特征在于，在步骤S4中，所述标准电流值通过以下步骤获得：

步骤S41，判断空闲输出功能是否处于开启状态，若否，则执行步骤S43；若是，则执行步骤S42；

步骤S42，关闭所述空闲输出功能；

步骤S43，关闭加热部件；

步骤S44，清空原有标准电流值；

步骤S45，按照n％的所述输出功率百分比间隔采集输出电流值并生成新的标准电流值，其中，n为正整数。

3.根据权利要求2所述的监控方法，其特征在于，所述步骤S45包括：

步骤S451，开启所述加热部件并将输出功率百分比的间隔设定为n％；

步骤S452，等待所述加热部件稳定；

步骤S453，设定初始值i；

步骤S454，计算N＝i×n，获得输出功率百分比N％；

步骤S455，判断所述输出功率百分比N％是否小于100％，若是，则设定输出功率百分比为N％，再执行步骤S456；若否，则生成完整输出功率百分比下新的标准电流值，再执行步骤S4511；

步骤S456，等待所述加热部件稳定；

步骤S457，判断所述输出功率百分比下采集的所述输出电流值的数量是否达到M个，若否，则执行步骤S458；若是，则执行步骤S4510；其中，M为正整数；

步骤S458，采集所述输出功率百分比下的输出电流值；

步骤S459，等待采样间隔T后返回步骤S457；

步骤S4510，计算所述输出功率百分比下获得的M个所述输出电流值的平均值以获得新的标准电流值，并使所述初始值i+1后返回步骤S454；

步骤S4511，关闭所述加热部件。

4.根据权利要求2所述的监控方法，其特征在于，在步骤S41之前包括：设置所述空闲输出功能的开启条件。

5.根据权利要求2所述的监控方法，其特征在于，在步骤S45之后包括：

步骤S46，判断是否需要开启所述空闲输出功能，若是，则开启所述空闲输出功能；若否，则结束。

6.根据权利要求1所述的监控方法，其特征在于，在步骤S7后包括：

步骤S8，维护所述加热部件；

步骤S9，分析所述加热部件的加热能力。

7.根据权利要求6所述的监控方法，其特征在于，所述步骤S9包括：

步骤S91，判断所述空闲输出功能是否处于开启状态，若是，则执行步骤S92；若否，则执行步骤S93；

步骤S92，关闭所述空闲输出功能；

步骤S93，关闭所述加热部件；

步骤S94，将所述输出功率百分比设置为0％；

步骤S95，按照n％的所述输出功率百分比间隔采集输出电流值，获得完整输出功率范围内的分析电流值；

步骤S96，比较各输出功率百分比下所述分析电流值和所述标准电流值，以获得分析电流值相对于所述标准电流值增减的百分比。

8.根据权利要求1所述的监控方法，其特征在于，在步骤S96之后包括：

步骤S97，判断是否开启所述空闲输出功能，若是，则开启所述空闲输出功能；若否，则结束。