[发明专利]一种配置IO通道的方法及半导体加工方法

权利要求书

1.一种半导体加工设备的IO通道配置方法，其特征在于，

包括以下步骤：

步骤S1，根据用户需求对下位机配置文件中所述不同腔室所对应的IO通道参数信息进行配置；

步骤S2，在上位机配置文件中增加字段，所述字段用以区别不同腔室所对应的IO通道参数信息；

步骤S3，根据所述下位机配置文件对所述上位机配置文件中的所述IO通道参数信息进行配置；

步骤S4，修改上位机代码以满足上位机的启动条件。

2.根据权利要求1所述的半导体加工设备的IO通道配置方法，其特征在于，在所述步骤S2和所述步骤S3之间还包括步骤：在所述上位机配置文件中，将属于同一腔室的所述IO通道参数信息按模块分类。

3.根据权利要求2所述的半导体加工设备的IO通道配置方法，其特征在于，所述模块包括温度模块、腔室模块、工艺气体模块、射频电源模块以及真空模块。

4.根据权利要求2所述的半导体加工设备的IO通道配置方法，其特征在于，启动所述上位机，在用户界面按照不同的所述腔室和不同的所述模块分类加载所述上位机配置文件，同时读取所述下位机配置文件中与之对应的IO通道参数信息并将其加载到相应的所述用户界面。

5.根据权利要求4所述的半导体加工设备的IO通道配置方法，其特征在于，在所述用户界面添加或删除所述模块以及修改所述IO通道参数信息。

6.一种半导体加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S20，按照权利要求1-5任意一项半导体加工设备的IO通道配置方法对上位机和下位机中对应的各IO通道进行配置；

步骤S21，在所述上位机上执行通道控制程序；

步骤S22，所述通道控制程序检测不同腔室是否连接，若否，则表示被检测的腔室不可用；若是，则执行步骤S23；

步骤S23，所述通道控制程序检测上位机配置文件是否成功加载，若否，则抛出报警；若是，则执行步骤S24；

步骤S24，根据所述上位机配置文件读取下位机配置文件中对应的IO通道参数信息，所述上位机配置文件中用字段区别不同腔室对应的IO通道参数信息；

步骤S25，根据读取到的所述IO通道参数信息初始化所述上位机的加载界面。