[发明专利]一种角向非对称螺旋线慢波结构及该慢波结构的制造方法

权利要求书

1.一种角向非对称螺旋线慢波结构的制备方法，其特征在于，所述慢波结构包括螺旋线、夹持杆和管壳；所述夹持杆的外侧壁与所述管壳的内侧壁连接固定；

所述夹持杆中部分夹持杆的内侧壁与所述螺旋线之间通过金属加载连接固定；所述夹持杆中其余部分夹持杆的内侧壁与所述螺旋线之间连接固定；

所述制备方法包括如下步骤：

S1、在螺旋线涂光刻胶；

S2、选取部分夹持杆，去除螺旋线上与所选取夹持杆的接触区域的光刻胶；

S3、对所选取的夹持杆与金属加载的有效接触区域实施图形金属化；

S4、利用微电铸在螺旋线和夹持杆之间形成角向非对称金属加载，微电铸后得到螺旋线、金属加载和夹持杆的复合结构；

S5、去除螺旋线上的剩余光刻胶；

S7、对管壳和上述已得到的螺旋线、金属加载和夹持杆的复合结构进行夹持，连接管壳和夹持杆，得到角向非对称螺旋线慢波结构。

2.根据权利要求1所述的一种角向非对称螺旋线慢波结构的制备方法，其特征在于，所述螺旋线位于所述慢波结构的居中位置。

3.根据权利要求1所述的一种角向非对称螺旋线慢波结构的制备方法，其特征在于，在与所述金属加载相对应连接的夹持杆的内侧壁上设有通过曝光光刻并金属化的第一金属化镀层，所述金属加载与所述第一金属化镀层连接。

4.根据权利要求1所述的一种角向非对称螺旋线慢波结构的制备方法，其特征在于，所述金属加载与其相对应的经过曝光光刻后的螺旋线壁面连接固定。

5.根据权利要求1所述的一种角向非对称螺旋线慢波结构的制备方法，其特征在于，所述夹持杆中其余部分夹持杆的内侧壁与其相对应的经过曝光光刻后的螺旋线壁面连接固定。

6.根据权利要求1所述的一种角向非对称螺旋线慢波结构的制备方法，其特征在于，所述方法进一步的包括如下步骤：

S6、对未选取的其余部分夹持杆内侧壁上与螺旋线接触面的有效接触区域实施图形金属化。

7.根据权利要求1所述的一种角向非对称螺旋线慢波结构的制备方法，其特征在于，所述步骤S3具体为：

S31、依据金属加载的尺寸，对所选取的夹持杆进行尺寸调整，保证螺旋线位于所述慢波结构的居中位置；

S32、对所选取的夹持杆内侧壁上与金属加载的有效接触区域曝光光刻，并得到焊点图形；

S33、图形化后的上述有效接触区域金属化。

8.根据权利要求1所述的一种角向非对称螺旋线慢波结构的制备方法，其特征在于，所述步骤S4具体为：利用定位模具保证曝光显影后的螺旋线和所选取的图形金属化后的夹持杆的相对位置，利用微电铸在螺旋线和夹持杆之间形成角向非对称金属加载，微电铸后得到螺旋线、金属加载和夹持杆的复合结构。