[发明专利]用于热氦检漏的气体加热循环系统及快速加热冷却方法

权利要求书

1.一种用于热氦检漏的快速加热冷却方法，其特征在于，首先在真空室外连接气体加热循环系统，之后的操作步骤如下：

1)将热氦检漏被检测部件放置于真空室中，将被检测部件的冷却通道与气体加热回路连接；

2)控制气体加热循环系统管道内的氮气压力，保持压力为3～5MPa,氮气流量为0.3～0.4kg/s；

3)加热气体加热循环系统管道内的氮气，保持入口氮气温度为70～77℃，持续1～2小时；

4)监测被检测部件最低温度和最高温度，控制其温差为52～55℃，并提高被检测部件冷却通道入口氮气温度到达某一温度A；

5)保持冷却通道入口氮气温度在上述温度A，直至真空室内的被检测部件最低温度达到250℃；

6)当真空室内的被检测部件整体温度达到热氦检漏要求后，进行热氦检漏；

7)保持被检测部件最低温度和最高温度的温差在52～55℃，降低冷却通道入口氮气温度，直到80℃。

2.如权利要求1所述的用于热氦检漏的快速加热冷却方法，其特征在于：所述的步骤4)提高被检测部件冷却通道入口氮气温度，直到温度达A，A为260～270℃。

3.如权利要求1所述的用于热氦检漏的快速加热冷却方法，其特征在于：所述的步骤6)中热氦检漏要求温度为230～270℃。