[发明专利]寻址式感测元件及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种感测元件及其制造方法，尤其涉及一种寻址式感测元件及其制造方法。

背景技术

科技与人类的互动在于接口的设计，如何将信息输入与输出为最重要的功能。人类的感知来自于五种知觉：视觉、听觉、味觉、嗅觉与触觉，其中以触觉为最直接的感知源但也较难以仿造。

感测元件是将接受到的触觉信号转换为电阻或电压的输出以表现出触觉的感测，而传统的感测元件通常需接外部电源以使感测元件正常运作，故其应用范围受限。因此，如何能够自行发电而不需外部电源供应的感测元件将可扩大其应用范围。

发明内容

本发明提供一种寻址式感测元件及其制造方法，可藉由产生感应电荷而发电，并达到可挠性、透明且薄型的优点，此外，藉由感测元件中电极的排列方式，可达到更精密的感测度。

本发明提供一种寻址式感测元件。寻址式感测元件包括基板、多个第一电极、多个第二电极、多个感测单元以及接触层。多个第一电极和多个第二电极位于基板的至少其中一表面上，其中多个第一电极沿着第一方向排列且沿着第二方向延伸，多个第二电极沿着第二方向排列且沿着第一方向延伸，且多个第一电极与多个第二电极投影至基板上形成多个交会区域。多个感测单元分别与每个第一电极和每个第二电极电性连接。接触层至少位于多个第一电极或多个第二电极上。

在本发明的一实施例中，上述接触层的厚度小于2mm。

在本发明的一实施例中，上述基板包括可挠性基板、硬式玻璃基板、导电基板、半导体基板、陶瓷基板、金属氧化物基板或其组合。

在本发明的一实施例中，上述第一电极和第二电极的材料包括金属、合金或金属氧化物。

在本发明的一实施例中，上述第一电极和第二电极位于基板的同一表面上。

在本发明的一实施例中，还包括绝缘层位于第一电极和第二电极之间。

在本发明的一实施例中，上述第一电极和第二电极位于基板的不同表面上。

本发明又提供一种寻址式感测元件的制造方法，其包括以下步骤。提供基板。形成多个第一电极和多个第二电极位于基板的至少其中一表面上，其中多个第一电极沿着第一方向排列且沿着第二方向延伸，多个第二电极沿着第二方向排列且沿着第一方向延伸，且多个第一电极与多个第二电极投影至基板上形成多个交会区域。提供多个感测单元分别与每个第一电极和每个第二电极电性连接。形成接触层至少位于多个第一电极或多个第二电极上。

在本发明的一实施例中，上述接触层的厚度小于2mm。

在本发明的一实施例中，上述基板包括可挠性基板、硬式玻璃基板、导电基板、半导体基板、陶瓷基板、金属氧化物基板或其组合。

在本发明的一实施例中，上述第一电极和第二电极的材料包括金属、合金或金属氧化物。

在本发明的一实施例中，上述第一电极和第二电极位于基板的同一表面上。

在本发明的一实施例中，还包括绝缘层位于第一电极和第二电极之间。

在本发明的一实施例中，上述第一电极和第二电极位于基板的不同表面上。

基于上述，本发明的寻址式感测元件，藉由材料的选择，可做成具有可挠性、透明且薄型的感测元件。又由于本发明是藉由对象与寻址式感测元件的接触层之间具有相对电位差产生感应电流或电压，不需再接外部电源，且相较于传统的触控装置或触控键盘，本发明的寻址式感测元件的厚度更薄。此外，本发明藉由多个长条电极排列而形成的多个交会区域的排列方式，可在单位面积内设置较高密度的电极排列。因此，本发明的感测元件可达到更精密的感测度。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1A至图1E为依照本发明的一实施例所显示的寻址式感测元件的制造方法的立体结构示意图；

图2为沿图1E的A-A’线所显示的寻址式感测元件的剖面示意图；

图3为依照本发明的另一实施例所显示的寻址式感测元件的立体结构示意图；

图4为沿图3的B-B’线所显示的寻址式感测元件的剖面示意图；

图5为依照本发明的又一实施例所显示的寻址式感测元件的立体结构示意图；

图6为沿图5的C-C’线所显示的寻址式感测元件的剖面示意图；

图7为依照本发明的又一实施例所显示的寻址式感测元件的立体结构示意图；

图8为沿图7的D-D’线所显示的寻址式感测元件的剖面示意图；