[发明专利]一种超广角半球透镜增透膜及其镀制方法有效
| 申请号： | 201610557545.1 | 申请日： | 2016-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN106054288B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 吴小春 | 申请（专利权）人： | 三明福特科光电有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115;C23C14/30;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 福州市众韬专利代理事务所(普通合伙) 35220 | 代理人： | 陈智雄;黄秀婷 |
| 地址： | 365499 福建省三明市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 膜层 增透膜 半球透镜 超广角 反射率 镀制 膜裂 附着力 离子源辅助沉积 透镜 离子源辅助 传统设备 带宽展宽 低折射率 镀膜工艺 膜厚均匀 同一圆周 应力问题 增透效果 边缘膜 传统的 工件盘 控制膜 离子源 致密性 最外层 光谱 基底 刻蚀 料层 膜系 沉积 带宽 保证 思维 改造 | ||
【说明书】：
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