[发明专利]基于基准面对沉积过程控制的沉积模拟方法有效
| 申请号： | 201610557740.4 | 申请日： | 2016-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN106202749B | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 宋亚开;尹太举;王冬冬;曽灿;李峰 | 申请（专利权）人： | 长江大学 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 冯超;陈家安 |
| 地址： | 430100 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 基准 面对 沉积 过程 控制 模拟 方法 | ||
【说明书】：
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