[发明专利]洗涤用氢水的制造方法及制造装置有效
| 申请号： | 201610561383.9 | 申请日： | 2016-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN106345327B | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 自在丸隆行;王晖;黄斗铁 | 申请（专利权）人： | 野村微科学股份有限公司;盛美半导体设备(上海)有限公司;HJS工程有限公司 |
| 主分类号： | B01F3/08 | 分类号： | B01F3/08;B01F15/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 白丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 洗涤 用氢水 制造 方法 装置 | ||
【说明书】：
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