[发明专利]显影方法及系统有效
| 申请号： | 201610566567.4 | 申请日： | 2016-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN105954983B | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 罗丽平;刘明悬;张小祥;刘会双;孙增标;李伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 搜索关键词： | 显影 方法 系统 | ||
【说明书】：
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