[发明专利]一种二维材料异质结场效应晶体管、其制备方法和晶体管阵列器件有效
申请号: | 201610566736.4 | 申请日: | 2016-07-15 |
公开(公告)号: | CN106206710B | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 杨亿斌;招瑜;肖也;牟中飞;李京波 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L29/417;H01L29/10;H01L21/336 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵青朵 |
地址: | 510006 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 二维 材料 异质结 场效应 晶体管 制备 方法 阵列 器件 | ||
【说明书】:
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