[发明专利]一种使用杂质分解剂的有机氟气体的提纯方法有效
| 申请号： | 201610567093.5 | 申请日： | 2016-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN106345264B | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 陈刚;叶向荣;张晓东;周井森;王宁;张广第;陈立峰;李军;郑九丽 | 申请（专利权）人： | 浙江博瑞电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/81 | 分类号： | B01D53/81;C07C17/389;C07C19/08;C07C23/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 324004 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 使用 新型 杂质 分解 有机 氟气 提纯 方法 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江博瑞电子科技有限公司，未经浙江博瑞电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610567093.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
