[发明专利]一种检测三氟化硼原料气中氟化氢含量的方法及装置在审
| 申请号： | 201610569041.1 | 申请日： | 2016-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN106248520A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 金向华;宗立冬;夏致远;孙猛;陈琦峰;周珽;曹文权;许军州;唐璐 | 申请（专利权）人： | 苏州金宏气体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215152 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 检测 氟化 原料 氟化氢 含量 方法 装置 | ||
【说明书】：
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