[发明专利]蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床

权利要求书

1.蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床，包括机台(1)，其特征在于：还包括立式旋转臂(6)、主轴系统(9)、第一电机(8)、载物盘(10)和负压机构；

该机台(1)顶面设有周向间隔布置的装卸位(2)、粗抛位(3)、腐蚀位(4)和精抛位(5)，该粗抛位(3)和精抛位(5)上都设有抛光部件，该腐蚀位(4)设有内装有腐蚀液的腐蚀槽(13)；

该立式旋转臂(6)上部固设有悬臂(7)，该主轴系统(9)能相对悬臂(7)上下活动，该第一电机(8)和载物盘(10)都装接在主轴系统(9)上且第一电机(8)传动连接载物盘(10)以能带动载物盘(10)转动；该载物盘(10)上设有吸孔，该负压机构接通吸孔；

该立式旋转臂(6)设于该周向的轴线处且能绕该轴线转动，通过立式旋转臂(6)转动能将载物盘(10)分别移至装卸位(2)、粗抛位(3)、腐蚀位(4)和精抛位(5)，在装卸位(2)通过载物盘(10)和负压机构配合以装卸晶片，在粗抛位(3)通过晶片和抛光部件配合以粗抛晶片，在腐蚀位(4)通过晶片浸没在腐蚀液内以腐蚀晶片，在精抛位(5)通过晶片和抛光部件配合以精抛晶片；

该腐蚀槽(13)呈上大下小的阶梯槽，该阶梯槽具有阶梯面；该腐蚀位(4)还设有升降杆(14)、晶片篮(15)、用于加热腐蚀槽(13)内腐蚀液的加热装置和密封罩(16)；该升降杆(14)能上下升降地装接在腐蚀槽(13)的阶梯面，该晶片篮(15)具有篮体和由篮体上周圈向外延伸的篮缘，该篮体开设有上下贯穿的细孔，该篮缘固接在升降杆(14)顶端；该密封罩(16)能水平移动地连接腐蚀槽(13)且在一个伸入腐蚀槽(13)内且封闭腐蚀槽(13)的封闭位置和一个离开腐蚀槽(13)的打开位置之间移动。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床，其特征在于：该机台(1)顶面为水平面，该装卸位(2)、粗抛位(3)、腐蚀位(4)和精抛位(5)的位置环形阵列布置，该载物盘(10)转动轴线平行立式旋转臂(6)转动轴线。

3.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床，其特征在于：该悬臂(7)末端设有导轨，该主轴系统(9)包括一能上下滑动连接在导轨的滑座和一转动连接在滑座内的主轴，该第一电机(8)装接在滑座，该第一电机(8)传动连接主轴上端部，该载物盘(10)固接在主轴下端部。

4.根据权利要求3所述的蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床，其特征在于：还包括驱动单元，该驱动单元装接在悬臂(7)且传动连接滑座，该驱动单元为气缸机构。

5.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床，其特征在于：该装卸位(2)包括四个上料位和四个下料位，该上料位和下料位环形阵列布置；该每个上料位处凹设有一截面适配晶片的上料槽，该上料槽槽底设有第一升降台(11)，该晶片上下叠放且置放在第一升降台(11)之上；该每个下料位处凹设有一截面适配晶片的下料槽，该下料槽槽底设有第二升降台，该晶片上下叠放且置放在第二升降台之上。

6.根据权利要求5所述的蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床，其特征在于：该装卸位(2)处还设有能转动且位于上料槽和下料槽之上的转盘(12)，该转盘(12)设有上下贯穿的通孔，通过转盘(12)转动使通孔对齐上料槽或/和下料槽。

7.根据权利要求1所述的蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床，其特征在于：该腐蚀槽(13)具有槽壁，通过阶梯面将腐蚀槽(13)的槽壁分为上槽壁和下槽壁，该腐蚀槽(13)内的腐蚀液液面低于阶梯面；通过升降杆上下升降能带动晶片篮(15)处于上升位置和下降位置，位于上升位置的晶片篮(15)脱离腐蚀液，位于下降位置的晶片篮(15)的下部浸没在腐蚀液内；该上槽壁设有内外贯穿的滑槽，该密封罩(16)水平移动地连接滑槽。