[发明专利]一种铝钇掺杂氧化锌陶瓷靶材及其制备方法在审
申请号: | 201610573453.2 | 申请日: | 2016-07-20 |
公开(公告)号: | CN106187151A | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 徐从康 | 申请(专利权)人: | 浙江舒玛新材料有限公司 |
主分类号: | C04B35/453 | 分类号: | C04B35/453;C04B35/622;B28B1/14 |
代理公司: | 台州蓝天知识产权代理有限公司 33229 | 代理人: | 周绪洞 |
地址: | 318000 浙江省台州市椒江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 掺杂 氧化锌 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】:
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