[发明专利]一种透明材料微小器件键合质量检测系统

权利要求书

1.一种透明材料微小器件键合质量检测系统,由光源、相机、镜头、计算机、支架等部分组成。

2.根据权利要求1所述的透明材料微小器件键合质量检测系统，其特征是所述的光源采用LED背光源。

3.根据权利要求1所述的透明材料微小器件键合质量检测系统，其特征是所述的相机采用了成本较高但成像质量较好的CCD相机，CCD相机的主要特性参数有分辨率、芯片尺寸、像元大小、信噪比等；分辨率是影响检测精度的主要参数，在成本允许的情况下分辨率越高越好；在相机分辨率较高的情况下，不应选择尺寸过小的CCD芯片，像素的尺寸过小，则芯片像素的集成过高使成像不准确；信噪比越高，获得图像的质量就越好。

4.根据权利要求1所述的透明材料微小器件键合质量检测系统，其特征是所述的镜头类型和参数主要综合考虑视觉检测系统中检测的视场(被测场景大小)、物距(工作距离)、选用的相机参数等因素进行选择。

5.根据权利要求1所述的透明材料微小器件键合质量检测系统，其特征是所述的系统的图像处理技术主要包括图像采集、图像相减、图像增强、滤波处理、图像二值化。

6.根据权利要求1所述的透明材料微小器件键合质量检测系统，其特征是所述的图像相减是对2幅图像对应像素点的灰度值运用相减算法，本检测系统中是对不同景物在不同时间拍摄的图像进行相减。

7.根据权利要求1所述的透明材料微小器件键合质量检测系统，其特征是所述的灰度图像二值化分割方法是基于灰度图像中不同特征区域像素点存在灰度差，用一个(或几个)阈值将图像分为几个不同部分来表示图像不同的特征区域，从而进行图像的分割，是一种常用且简单有效的图像分割方法。

8.根据权利要求1所述的透明材料微小器件键合质量检测系统，其特征是所述的图像降噪采用空域方法，具有算法简单，计算量小，处理速度快等优点，能够很好地满足检测系统要求；不同的检测系统图像噪声的主要类型不同，具体操作时可根据主要噪声类型选用不同的降噪方法。