[发明专利]多孔状基板及震荡组件

权利要求书

1.一种多孔状基板，选用AISI-3xx系列不锈钢材料制成的片体，该多孔状基板相对两侧分别为一第一表面以及一第二表面，该多孔状基板中形成多个孔洞，每一孔洞各包含一凹穴部以及至少一通孔部，所述凹穴部自第一表面朝第二表面方向延伸，所述通孔部形成于该凹穴部内周壁且贯通至第二表面，所述通孔部的直径小于所述凹穴部的直径，所述通孔部的深度与所述通孔部的孔径的比值为8:1～15:1。

2.如权利要求1所述的多孔状基板，其中，所述凹穴部通过蚀刻手段成形，所述通孔部以所述凹穴部为定点依据且以激光穿孔加工手段成形。

3.如权利要求1所述的多孔状基板，其中，所述第一表面于每二相邻的孔洞之间形成平坦部或尖部。

4.如权利要求2所述的多孔状基板，其中，所述第一表面于每二相邻的孔洞之间形成平坦部或尖部。

5.如权利要求1至4中任一项所述的多孔状基板，其中，所述AISI-3xx系列不锈钢材料是AISI-304、AISI-316、AISI-316L或AISI-321不锈钢。

6.一种震荡组件，包含：

一如权利要求1至5中任一项所述的多孔状基板；以及

一震荡产生元件，其包含一震荡输出部，并以该震荡输出部设置于该多孔状基板的第一表面或第二表面。