[发明专利]一种扩散炉气体浓度及扩散方式的自动控制装置在审
| 申请号： | 201610582108.5 | 申请日： | 2016-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN106012025A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 高鹏;耿浩;徐晋勇;唐焱;张应红;孙宁;唐亮;高成;王岩;黄伟 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | C30B31/18 | 分类号： | C30B31/18;H01L31/18 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司45112 | 代理人： | 陆梦云 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 气体 浓度 方式 自动控制 装置 | ||
【权利要求书】：
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