[发明专利]一种检测束流角度的方法

权利要求书

1.一种检测束流角度的方法，其用于检测束流的角度，其特征在于：包括5个电流检测传感器，分别是顶部传感器(1)、左边传感器(2)、底部传感器(3)、右边传感器(4)、中心传感器(5)，所述中心传感器(5)由其他四个传感器包围，这5个传感器安装在每个法拉第中检测束流值；

中心传感器(5)的中心对应的是坐标原点，左边传感器(2)对应的是X负方向，右边传感器(4)对应的是X正方向，底部传感器(3)对应的是Y负方向，顶部传感器(1)对应的是Y正方向；

定义装置的中心线与顶部传感器(1)、左边传感器(2)、底部传感器(3)、右边传感器(4)中心方向的夹角均为θ，θ是定值，定义顶部传感器(1)测量的束流值是B，定义左边传感器(2)测量的束流值是C，定义底部传感器(3)测量的束流值是D，定义右边传感器(4)测量的束流值是E，定义中心传感器(5)测量的束流值是A；则：束流偏向X负方向的角度值为(Cθ)/(A+C+E)，束流偏向X正方向的角度值为(Eθ)/(A+C+E)，束流偏向Y正方向的角度值为(Bθ)/(A+B+D)，束流偏向Y负方向的角度值为(Dθ)/(A+B+D)。