[发明专利]阻焊独立对位台框及曝光机有效
申请号: | 201610590681.0 | 申请日: | 2016-07-26 |
公开(公告)号: | CN106054542B | 公开(公告)日: | 2017-10-03 |
发明(设计)人: | 张方德;谢桂平 | 申请(专利权)人: | 浙江欧视达科技有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 温州金瓯专利事务所(普通合伙)33237 | 代理人: | 林益建 |
地址: | 325000 浙江省温州市高新技术*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 独立 对位 曝光 | ||
1.一种阻焊独立对位台框,包括上台框和下台框,所述上台框和所述下台框的后端相互铰接而前端可开闭,所述下台框两相对侧设有开启机构,其特征在于:所述下台框底部设置固定支架,且该固定支架与下台框联动配合,所述下台框中间设有托盘,所述托盘相对下台框构成X向、Y向位移配合,且所述托盘与下台框之间通过密封件密封配合,所述托盘下方设置用于驱使托盘沿X向或Y向移动或角度偏转的位移驱动装置,所述位移驱动装置的底部固定设置在固定支架上,所述托盘前端底部设置用于带动曝光基板进行位置偏移调整的伸缩PIN钉,所述上台框和下台框设有抽真空结构,所述开启机构设有一控制气缸和一铰接轴,所述控制气缸和铰接轴均呈前后设置,所述控制气缸的前端铰接在所述下台框上,所述控制气缸设有可使相应的铰接轴上下摆动的伸缩推杆,所述伸缩推杆的后端连接至相应的铰接轴的中部,所述铰接轴的后端铰接在所述下台框上,所述铰接轴的内侧凹设有自前端向后端延伸的滑槽,所述上台框的外侧面设有伸入所述滑槽内并在所述铰接轴上下摆动时可沿所述滑槽移动的连接件。
2.根据权利要求1所述的阻焊独立对位台框,其特征在于,所述托盘周向设置可充气气垫,所述可充气气垫与抽真空结构连通。
3.根据权利要求1所述的阻焊独立对位台框,其特征在于,所述上台框与下台框的铰接处设有限位件,所述限位件包括两组设置在下台框上的竖直对称设置的限位槽,所述限位槽呈长条形,所述上台框上相对应设置限位凸块,所述限位凸块置于两个限位槽之间,且与限位槽构成上下滑移配合。
4.根据权利要求1所述的阻焊独立对位台框,其特征在于,所述上台框和下台框之间设置若干个定位机构。
5.根据权利要求4所述的阻焊独立对位台框,其特征在于,所述定位机构包括设置在下台框上的滚轮定位模组以及设置在上台框上的可对应插置于所述滚轮定位模组上的定位块。
6.根据权利要求1所述的阻焊独立对位台框,其特征在于,所述伸缩PIN钉包括气缸;
活动支架,所述活动支架经配置能受气缸驱动相对于该下台框位移;
PIN针,设置在该活动支架上并且能受驱动穿设于线路板,且带动该线路板随该活动支架相对于该下台框位移。
7.根据权利要求6所述的阻焊独立对位台框,其特征在于,所述PIN针与活动支架之间设有弹性件。
8.根据权利要求1所述的阻焊独立对位台框,其特征在于,所述位移驱动装置为UVW对位平台,且所述UVW对位平台的移动盘与托盘固定连接。
9.一种的阻焊独立对位台框的曝光机,其包括曝光机本体,其特征在于,所述曝光机本体内设有两个任意一条权利要求1、2、3、4、5、6、7或8 所述的阻焊独立对位台框。
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