[发明专利]一种微机械直流电机定子的制备方法在审
申请号: | 201610594826.4 | 申请日: | 2016-07-26 |
公开(公告)号: | CN107659076A | 公开(公告)日: | 2018-02-02 |
发明(设计)人: | 王永;纪引虎;何福林;牛昊彬 | 申请(专利权)人: | 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 |
主分类号: | H02K15/02 | 分类号: | H02K15/02 |
代理公司: | 中国航空专利中心11008 | 代理人: | 王世磊 |
地址: | 710065 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微机 直流电机 定子 制备 方法 | ||
1.一种微机械直流电机定子的制备方法,其特征在于所述的方法包括如下步骤:
步骤一,在原材料上加工沟槽;
步骤二,对加工有沟槽的原材料覆盖种子层;
步骤三,对步骤二得到的中间品进行交流电铸,直至将沟槽填满铜材料;
步骤四,将电铸完成后得到的中间品进行机械研磨抛光,直至沟槽外部的铜材料完全去除。
2.根据权利要求1所述的一种微机械直流电机定子的制备方法,其特征在于,通过以下步骤加工沟槽:首先对原材料进行氧化,形成二氧化硅膜层,通过光刻的方法在原材料表面制作定子所需的沟槽图形;然后,对暴露出来的二氧化硅膜层进行刻蚀,去除掉光刻胶,以剩余的二氧化硅膜层作为掩膜,通过深刻蚀方法得到沟槽。
3.根据权利要求1所述的一种微机械直流电机定子的制备方法,其特征为:沟槽的深宽比为2~2.5:1。
4.根据权利要求1所述的一种微机械直流电机定子的制备方法,其特征为:种子层为铜材料。
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