[发明专利]一种高浓度乙硼烷混合气体浓度的测试方法在审
| 申请号： | 201610595324.3 | 申请日： | 2016-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN105974032A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 金向华;丁国栋;孙猛;夏致远 | 申请（专利权）人： | 苏州金宏气体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 胡拥军;陈轩 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 浓度 乙硼烷 混合气体 测试 方法 | ||
【权利要求书】：
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