[发明专利]压印掩膜版及纳米压印方法在审
| 申请号： | 201610596067.5 | 申请日： | 2016-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN105974732A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 周婷婷;姚继开;关峰;王英涛;何晓龙;张斌 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压印 掩膜版 纳米 方法 | ||
【说明书】：
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