[发明专利]一种可多点修正的差动式在线激光测厚系统及其测量方法

说明书

技术领域

本发明属于带材非接触在线测厚相关领域，更具体地，涉及一种可多点修正的差动式在线激光测厚系统及其测量方法。

背景技术

在锂电池极片涂布、金属箔材生产线等工业生产中，带材厚度的稳定与否决定着最终产品的质量，因此需要大量用到在线测厚装置。对于锂电池涂布极片、金属箔材这类非透明薄膜的厚度测量而言,目前使用最多的是射线测厚和激光测厚，其中射线测厚虽然精度很高，但由于存在射线辐射，有安全问题，且设备昂贵，故障率高，对环境敏感，因此不是理想的选择；激光高频高分辨的特性使其在在线薄膜厚度测量领域具有巨大优势，因此得到了广泛的应用。

目前最主流的在线测厚方式是上下差动式激光三角测量法，即用上下激光头分别测量上下激光头到薄膜上下表面的距离，用上下激光头之间的距离减去该距离即得到所测薄膜的厚度，这其中上下两激光头之间的距离的稳定性对测量结果的准确性有重要影响。针对上述激光测量方式，现有技术中已经提出了一些相关设备及工艺。例如，CN1031758A中公开了一种激光测厚仪，并详细介绍了上下差动式激光三角测量法的基本原理；又如，CN103063151B、CN102175165A和CN102519372A等都公开了一种基于C形架的激光测量装置。

然而，进一步的研究表明，上述现有设备中的激光测厚装置通常基于C形架扫描式测厚设计的测厚形式，这种C形架虽然获得了广泛应用，但在实际测量过程中，由于机械振动、环境温度等的影响，可能会出现轻微的变形，并使得上下激光头之间的距离不稳定，导致对于微米级的厚度测量会造成较大偏差，因此需要经常校准C形架两激光头之间的距离以修正偏差。此外，在C形架扫描测厚的过程中，各个不同区域对C形架的影响程度不一样，因此造成的偏差也会有大有小，如果校准时只设定一个固定的厚度偏差修正值，事实上往往并不能完全满足扫描过程中所有位置的厚度偏差。

发明内容

针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种可多点修正的差动式在线激光测厚系统及其测量方法，其中通过结合锂电池极片或金属箔材之类产品在线测厚及输送的工艺特点，对测厚系统的整体构架形式/关键组件的结构和设置方式、以及测量关键工序等多个方面重新作出针对性设计，相应能够在提供更好的结构稳定性和抗震性的同时，还可以为整个扫描测厚过程中的每个测量位置提供偏差校正，由此与现有技术相比可进一步提高测量精度和操作效率，因而尤其适用于微米级及以下的高精度激光测厚应用场合。

为实现上述目的，按照本发明的一个方面，提供了一种可多点修正的差动式在线激光测厚系统，其特征在于，该系统包括整体呈矩形框架的结构件、以及配套的激光控制器、运动控制卡和中央处理单元，其中：

所述整体呈矩形框架的结构件由横向设置且彼此平行的上直线导轨、下直线导轨，以及纵向设置且彼此平行的左传动轴和右传动轴共同组成；平行于所述上直线导轨、下直线导轨各自设置有上时规皮带、下时规皮带，并通过配套的驱动电机实现所述传动轴和所述时规皮带的同步传动，作为待测对象的带材则保持表面水平地横向输送穿过该结构件；此外，所述上时规皮带的下侧采用上滑块安装有上激光位移传感器，所述下时规皮带的上侧采用下滑块安装有下激光位移传感器，这两个激光位移传感器沿着同一垂直轴线相对设置且保持同步横向移动，并分别用于将激光束发射至带材的上表面和下表面，同时将漫反射回的激光通过透镜聚焦后成像，由此基于成像位置来获得各激光头至带材表面之间的距离；

所述激光控制器同时与所述上激光位移传感器、所述下激光位移传感器和所述中央处理单元信号相连，并用于将各个激光位移传感器所测得的距离数据实时传输给该中央处理单元；

所述运动控制卡同时与所述驱动电机和所述中央处理单元信号相连，并用于从此驱动电机上获取反映带材在整个横向输送过程中每个测量位置的坐标值；

所述中央处理单元基于来自所述上激光位移传感器、下激光位移传感器的距离数据、以及来自所述运动控制卡的坐标值，相应计算输出带材的厚度结果。

作为进一步优选地，所述上激光位移传感器、所述下激光位移传感器优选采用激光三角位移法执行距离数据的感测。

作为进一步优选地，所述带材优选为锂电池极片或者金属箔材,并且其厚度为微米量级。

按照本发明的另一方面，还提供了相应的测量方法，其特征在于，该测量方法包括下列步骤：

(a)激光位移传感器的间距标定操作