[发明专利]衬底处理设备有效
| 申请号： | 201610600078.6 | 申请日： | 2016-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN106521620B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 玄俊镇;诸成泰;宋炳奎;金龙基;金劲勋;金苍乭;申良湜;金哉佑 | 申请（专利权）人： | 株式会社EUGENE科技 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道龙*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衬底 处理 设备 | ||
【权利要求书】：
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