[发明专利]透明电极板及其制造方法在审
申请号: | 201610608813.8 | 申请日: | 2016-07-28 |
公开(公告)号: | CN106855766A | 公开(公告)日: | 2017-06-16 |
发明(设计)人: | 权炅椿 | 申请(专利权)人: | 现代自动车株式会社 |
主分类号: | G06F3/044 | 分类号: | G06F3/044;H01L27/12;H01L21/77 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 李静,马强 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透明 极板 及其 制造 方法 | ||
相关申请的交叉引证
本申请要求于2015年12月8日提交的韩国专利申请第10-2015-0174169号的优先权和权益,其全部内容通过引证结合于此。
技术领域
本发明涉及透明电极板以及其制造方法。
背景技术
使用触摸传感器和透明发热体的行业和技术领域需要透明的并且具有高导电性的电极材料。具体地,随着用于显示器的电容式触摸传感器的使用增长,已持续应用具有高透射率和低薄层电阻的电极材料。
通常,氧化铟锡(ITO)被用作具有高透射率和低薄层电阻的电极材料,但是ITO不适合于最近的具有改善可视度的大屏幕显示器的趋势。
因为铟,作为ITO的主要材料,是成本高的并且处理该材料的过程成本高,并且其机械性能不良,所以正在对最小化的使用ITO进行研究。
在该背景技术部分中公开的信息仅用于加深对本发明的一般背景的理解,并且不应被视为承认或任何形式地暗示这些信息构成本领域的技术人员已知的现有技术。
发明内容
本发明的多个方面涉及提供透明电极板中的透明电极的导电性和耐用性。
根据本发明的多个方面的透明电极板可以包括第一基板,以及放置在第一基板上并且包括第一电极和第二电极的多个第一透明电极,其中,第一电极放置在第一基板上并由银或铜制成,并且第二电极放置在第一电极上并由氧化铟锡或掺杂氟的氧化锡制成。
第一电极的厚度可以为约1μm至约10μm。
第二电极的厚度可以为约0.02μm至约0.2μm。
彼此相邻的第一透明电极之间可以间隔约25μm至约100μm。
根据本发明的多个方面的透明电极板可以进一步包括放置在第一基板上的多个第一虚拟电极(dummy electrode),其中多个第一虚拟电极中的一个放置在多个第一透明电极中的两个第一透明电极之间。
多个第一虚拟电极可以分别包括放置在第一基板上的第三电极,以及放置在第三电极上的第四电极。
第三电极可以由与第一电极相同的材料制成,并且第一电极和第三电极的厚度可以为约1μm至约10μm。
第四电极可以由与第二电极相同的材料制成,并且第二电极的厚度可以为约0.02μm至约0.2μm。
彼此相邻的第一透明电极和第一虚拟电极可以分隔约25μm至约100μm。
根据本发明的各个方面的透明电极板进一步包括附接至第一基板的底表面的第二基板,以及放置在第二基板的一个表面上的多个第二透明电极和多个第二虚拟电极,其中多个第二虚拟电极中的一个放置在多个第二透明电极中的两个第二透明电极之间。
多个第二透明电极可以分别包括放置在第二基板的一个表面上的第五电极以及放置在第五电极上的第六电极,并且多个第二虚拟电极可以分别包括放置在第二基板的一个表面上的第七电极以及放置在第七电极上的第八电极。
第五电极和第七电极可以由银或铜制成,并且第五电极和第七电极的厚度可以为约1μm至10μm。
第六电极和第八电极可以由氧化铟锡或掺杂氟的氧化锡制成,并且第六电极和第八电极的厚度可以为约0.02μm至约0.2μm。
彼此相邻的第二透明电极和第二虚拟电极可以分隔约25μm至约100μm。
根据本发明的多个方面的透明电极板的制造方法可以包括:在第一基板上形成由银或铜制成的第一电极层;在第一电极层上形成由氧化铟锡或掺杂氟的氧化锡制成的第二电极层;并且通过使用激光器蚀刻第一电极层和第二电极层形成多个第一透明电极和多个第一虚拟电极。
第一电极层的厚度可以为约1μm至约10μm,并且第二电极层的厚度可以为约0.02μm至0.2μm。
多个第一虚拟电极中的一个第一虚拟电极可以形成在多个第一透明电极中的两个第一透明电极之间,并且彼此相邻的第一透明电极和第一虚拟电极可以分隔约25μm至约100μm。
根据本发明的多个方面的透明电极板的制造方法可以进一步包括:在第二基板的一个表面上顺次形成第一电极层和第二电极层;通过使用激光器蚀刻形成在第二基板的一个表面上的第一电极层和第二电极层而形成多个第二透明电极和多个第二虚拟电极;并且将第二基板的另一个表面附接至第一基板的底表面。
多个第二虚拟电极中的一个第二虚拟电极可以形成在多个第二透明电极中的两个第二透明电极之间,并且彼此相邻的第二透明电极和第二虚拟电极可以分隔约25μm至约100μm。
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