[发明专利]一种石英玻璃毛细管内填金属控长封装工艺及其辅助工装

权利要求书

1.一种石英玻璃毛细管内填金属控长封装工艺，其特征在于，采用CO₂型激光焊机进行石英玻璃毛细管的封装；

所述CO₂型激光焊机的具体焊接参数如下：

激光功率：600W～900W；焦点形式：散焦；焦点距离：5mm～10mm。

2.根据权利要求1所述的一种石英玻璃毛细管内填金属控长封装工艺，其特征在于，所述石英玻璃毛细管封装过程中采用高纯氦气作为保护气，该保护气的流量为10L/min～15L/min；所述石英玻璃毛细管与CO₂型激光焊机之间的相对旋转速度为15rpm～25rpm。

3.如权利要求1所述的一种石英玻璃毛细管内填金属控长封装工艺用辅助工装，其特征在于，包括用于为石英玻璃毛细管(1)内抽真空及充入保护气体的保护气填充装置，用于固定石英玻璃毛细管(1)的固定装置，以及用于限定石英玻璃毛细管(1)内试样(2)位置的试样限位组件；

所述固定装置包括与保护气填充装置连接且使石英玻璃毛细管(1)与保护气填充装置形成密封腔体的开口端固定件，用于固定石英玻璃毛细管(1)的封闭端且可沿着石英玻璃毛细管(1)的中轴线方向移动的封闭端固定件；所述开口端固定件与封闭端固定件之间用于设置石英玻璃毛细管(1)封装用CO₂型激光焊机。

4.根据权利要求3所述的一种石英玻璃毛细管内填金属控长封装用辅助工装，其特征在于，所述试样限位组件包括位于开口端固定件与封闭端固定件之间且用于套接在石英玻璃毛细管(1)上的磁环(4)，用于设置在石英玻璃毛细管(1)内部的导磁柱(5)，以及固定在导磁柱(5)一端的非导磁性柱(3)。

5.根据权利要求3所述的一种石英玻璃毛细管内填金属控长封装用辅助工装，其特征在于，

所述开口端固定件包括一端通过阀门转换接头(15)与保护气填充装置连通的不锈钢套筒(11)，固定套接在不锈钢套筒(11)上的三爪卡盘(14)，套接在不锈钢套筒(11)上且与三爪卡盘(14)固定的转换柱(12)，设置在不锈钢套筒(11)另一端且位于石英玻璃毛细管(1)与不锈钢套筒(11)之间的第一密封环(13)，以及用于实现第一密封环(13)压紧密封的密封压紧环(10)；

所述封闭端固定件包括与石英玻璃毛细管(1)的中轴线方向平行设置的滑台(21)，设置在滑台(21)上的立板(22)，安装在立板(22)上且用于套接在石英玻璃毛细管(1)上的随动部件(7)，用于设置在随动部件(7)与石英玻璃毛细管(1)之间的第二密封环(20)，设置在随动部件(7)上用于实现第二密封环(20)压紧操作的稳定压紧环(6)。

6.根据权利要求5所述的一种石英玻璃毛细管内填金属控长封装用辅助工装，其特征在于，所述封闭端固定件中还包括同轴连接在随动部件(7)上且位于随动部件(7)与开口端固定件之间的限位块(9)，所述限位块(9)内壁上还设置有散热环(23)。

7.根据权利要求3所述的一种石英玻璃毛细管内填金属控长封装用辅助工装，其特征在于，所述保护气填充装置包括三通接头，与三通接头第一个端口连通的工装阀门(16)，与三通接头第二个端口连通的充氦装置，以及与三通接头第三个端口连通的真空装置；所述工装阀门(16)与开口端固定件连接。

8.根据权利要求7所述的一种石英玻璃毛细管内填金属控长封装用辅助工装，其特征在于，

所述充氦装置包括氦气提供装置，以及设置在氦气提供装置与三通接头第二个端口之间的充氦阀门(19)；

所述真空装置包括通过抽气阀门(26)与三通接头连通的真空罐(27)，以及与真空罐(27)连接的真空泵(28)。

9.根据权利要求7所述的一种石英玻璃毛细管内填金属控长封装用辅助工装，其特征在于，所述工装阀门(16)与三通接头之间还设置有压力表(24)。