[发明专利]有机双膜电容器成片机

说明书

技术领域

本发明属于电容器生产机械设备，特别涉及一种有机双膜电容器成片机。

背景技术

电容器是电子设备中大量使用主要基础元件之一，每年用量都是几百亿支，虽然是基础元件，但因小失大的事故时有发生，随着整机的发展和进步，装备中对电容器质量和产量的要求也越来越高。

传统的有机薄膜电容器生产设备包括拉膜设备、薄膜分切设备、金属化蒸发设备、卷绕机、真空定型设备等，不但设备数量多，而且投资大。同时，采用传统的电容器生产设备，还很难生产1μm以下的有机介质薄膜对其进行加工。

传统的有机介质电容器卷绕设备其卷绕过程在大气中进行，生产过程中不可避免的在电容器介质间挟带空气和粉尘颗粒，这会影响电容器的质量，使电容器的使用寿命和耐电压水平下降。

发明内容

本发明的目的在于克服上述技术不足，提供一种集多工序于一机，避免传统生产与空气粉尘接触，提高电容器质量的有机双膜电容器成片机。

本发明解决技术问题采用的技术方案是：有机双膜电容器成片机包括真空仓体、气化炉、机械泵一、机械泵二、机械泵三、送料电机、送丝电机、冷鼓转动电机、扩散泵一、扩散泵二、扩散泵三、罗茨泵一、罗茨泵二、真空阀门，其特点是在真空仓体内中心处设有冷鼓，在冷鼓的中心处设有冷鼓中心轴，在冷俗中心轴上装有中心轴皮带轮，中心轴皮带轮用皮带传动连接电机皮带轮，电机皮带轮装在冷鼓转动电机的出轴上，在冷鼓的边沿处设有均匀喷涂装置、辉光溅射机构和可移动压差板，在可移动压差板的上面右侧设有油屏蔽，在真空仓体外冷鼓左下方固定冷鼓转动电机，在冷鼓的下方的真空仓体内设有电极蒸发坩埚，电极蒸发坩埚的两侧设有坩埚加热电极，在电极蒸发坩埚的左上方设有送丝电机，坩埚加热电极用导线连接电极蒸发电源，真空仓体的外围用管路分别连接气化炉、真空阀门三、真空阀门四、真空阀门五、真空阀门七、真空阀门八、放气阀和低温循环系统，在气化炉与真空仓体连接的管路上设有裂解加热装置。

本发明的有益效果是：有机双膜电容器成片机可实现传统金属化有机薄膜电容器七道生产工序，在有机双膜电容器成片机中一次完成，代替多台生产设备。整个电容器母芯片生产过程在真空环境下进行，避免了传统生产方法介质间挟带空气和粉尘颗粒的问题，提高了电容器的质量。

附图说明

以下结合附图以实施例具体说明。

图1是有机双膜电容器成片机结构连接示意图。

图中，1-机械泵一；2-罗茨泵一；3-机械泵二；4-真空阀门一；5-真空阀门二；6-真空阀门三；7-扩散泵一；8-真空阀门四；9辉光溅射机构；10-油屏蔽；11-冷鼓；12-均匀喷涂装置；13-放气阀；14-冷鼓中心轴；15-中心轴皮带轮；16-皮带；17-电机皮带轮；18-裂解加热装置；19-送料电机；20-气化炉；21-真空阀门五；22-扩散泵三；23-真空 阀门六；24-罗茨泵二；25-机械泵三；26-冷鼓转动电机；27-送丝电机；28-坩埚加热电极；29-电极蒸发坩埚；30-可移动压差板；31-电极蒸发电源；32-真空阀门七；33-低温循环系统；34-扩散泵二；35-真空阀门八；36-真空阀门九；37-真空仓体。

具体实施方式