[发明专利]盒装置有效
申请号: | 201610622573.7 | 申请日: | 2012-12-17 |
公开(公告)号: | CN106185413B | 公开(公告)日: | 2017-11-07 |
发明(设计)人: | 浜田智秀;铃木智也 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | B65H23/04 | 分类号: | B65H23/04;H01L21/673;H01L21/677 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人: | 陈伟,李文屿 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 盒装 | ||
1.一种盒装置,保持供给辊和回收辊,所述供给辊卷绕有应供给至处理装置的长条的片状基板,所述回收辊卷绕有从所述处理装置搬出的所述片状基板,其特征在于,所述盒装置包括:
第一单元部,所述第一单元部保持所述供给辊,并能够借助第一驱动部而在二维平面内移动;
第二单元部,所述第二单元部保持所述回收辊,并能够借助第二驱动部而在所述二维平面内移动;
控制部,其控制所述第一驱动部和所述第二驱动部,以使得在与所述片状基板的长边方向交叉的短边方向上,所述第一单元部和所述第二单元部共同平移运动,在所述二维平面内的旋转方向上,所述第一单元部和所述第二单元部共同旋转运动。
2.根据权利要求1所述的盒装置,其特征在于,
所述控制部控制所述第一驱动部或所述第二驱动部,以使得在所述片状基板挂架于所述供给辊与所述回收辊之间的状态下,在所述片状基板的长边方向上,所述第一单元部和所述第二单元部向相互接近或相互分离的方向平移运动、或向同一方向共同平移运动。
3.根据权利要求2所述的盒装置,其特征在于,
所述控制部控制所述第一驱动部和所述第二驱动部,以使得在所述第一单元部和所述第二单元部在所述片状基板的长边方向上以规定间隔接近的状态或相连结的状态时,伴随着向所述长边方向的平移运动、向所述短边方向的平移运动以及所述旋转运动中的至少两种运动而使所述第一单元部和所述第二单元部一同移动。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的盒装置,其特征在于,
所述第一单元部和所述第二单元部分别具有能够与升降机构连结的连接部,所述升降机构用于使所述第一单元部和所述第二单元部向与所述二维平面垂直的方向移动。
5.根据权利要求1~3中任一项所述的盒装置,其特征在于,
所述第一单元部具有能与所述控制部之间进行通信的第一通信部,所述第二单元部具有能与所述控制部之间进行通信的第二通信部。
6.根据权利要求5所述的盒装置,其特征在于,
所述第一通信部接收用于控制基于所述第一驱动部的所述第一单元部的移动动作、和基于所述供给辊的所述片状基板的供给动作的第一控制信号,
所述第二通信部接收用于控制基于所述第二驱动部的所述第二单元部的移动动作、和基于所述回收辊的所述片状基板的回收动作的第二控制信号。
7.根据权利要求1~3中任一项所述的盒装置,其特征在于,
所述第一单元部的所述第一驱动部被设置成能够相对于所述第一单元部拆卸,所述第二单元部的所述第二驱动部被设置成能够相对于所述第二单元部拆卸。
8.根据权利要求1~3中任一项所述的盒装置,其特征在于,
所述第一单元部包括与所述供给辊平行设置、且用于卷绕带状的挠性的保护基板的滚筒,所述带状的挠性的保护基板覆盖所述片状基板的表面,
所述第二单元部包括与所述回收辊平行设置、且用于卷绕带状的挠性的保护基板的滚筒,所述带状的挠性的保护基板覆盖所述片状基板的表面。
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