[发明专利]一种适用于扫描探针显微镜的抗变质防短路覆膜样品在审
申请号: | 201610623210.5 | 申请日: | 2016-08-02 |
公开(公告)号: | CN106093472A | 公开(公告)日: | 2016-11-09 |
发明(设计)人: | 李全锋;李全利 | 申请(专利权)人: | 河南师范大学 |
主分类号: | G01Q60/00 | 分类号: | G01Q60/00;G01Q60/10 |
代理公司: | 新乡市平原专利有限责任公司 41107 | 代理人: | 路宽 |
地址: | 453007 *** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 扫描 探针 显微镜 变质 短路 样品 | ||
【说明书】:
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