[发明专利]用于多电极MEMS器件的系统和方法有效
| 申请号： | 201610629108.6 | 申请日： | 2016-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN106454665B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | S·巴曾 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 11256 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 郑立柱;董典红 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 电极 mems 器件 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
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