[发明专利]大气电子束加工设备用电子枪

权利要求书

1.大气电子束加工设备用电子枪，自下而上包括第一真空腔(11)、聚焦装置(10)、第二真空腔(5)、阳极(3)、第三真空腔(2)和电子束发生器(1)；其特征在于：

第一真空腔(11)的下方还设有第一等离子体窗口(13)；聚焦装置(10)和第二真空腔(5)之间还进一步设有第二等离子体窗口(7)；第一真空腔(11)和第二等离子体窗口(7)之间还进一步设有气动窗口(9)；

上述第一等离子体窗口(13)和第二等离子体窗口(7)的结构相同，均由等离子体阴极(71)、陶瓷体(72)、等离子体窗口壳体(73)、冷却腔(74)、进水口(75)、等离子体腔(76)、等离子体阳极(77)和出水口(78)组成；等离子体窗口壳体(73)的中央嵌设有陶瓷体(72)，该陶瓷体(72)呈纵向贯通的柱形，并将等离子体窗口壳体(73)所围成的密闭空间分隔为2个独立的腔室，其中位于陶瓷体(72)内侧的腔室构成等离子体腔(76)和位于陶瓷体(72)外侧的腔室构成冷却腔(74)；等离子体腔(76)上设有等离子体阴极(71)和等离子体阳极(77)；等离子体阴极(71)的中央开设有纵向贯通的阴极孔，等离子体阳极(77)的中央开设有纵向贯通的阳极孔；电子束(15)从等离子体阴极(71)的阴极孔飞入，并经过等离子体腔(76)后，从等离子体阳极(77)的阳极孔射出；冷却腔(74)上设有进水口(75)和出水口(78)；冷却水从进水口(75)流入，并经过冷却腔(74)后，从出水口(78)流出；

上述气动窗口(9)由气动窗口上壳体(91)和气动窗口下壳体(93)组成；气动窗口上壳体(91)和气动窗口下壳体(93)上均设有纵向贯通的通孔，气动窗口下壳体(93)的通孔形成气流腔(94)；气动窗口上壳体(91)的下端面和气动窗口下壳体(93)的上端面之间留有横向延伸的间隙，该间隙形成导气隙(92)；导气隙(92)的一端设有进气口(95)，且导气隙(92)与气流腔(94)相连通；压力气体由进气口(95)充入，经导气隙(92)进入气流腔(94)，形成超音速气流喷入第一真空腔(11)。

2.根据权利要求1所述的大气电子束加工设备用电子枪，其特征在于：气动窗口上壳体(91)同时作为第二等离子体窗口(7)的阳极；气动窗口下壳体(93)由聚焦装置(10)兼任。

3.根据权利要求1所述的一种大气电子束加工设备用电子枪，其特征在于：第一真空腔(11)上设有第一真空泵(12)，该第一真空泵(12)为机械泵。

4.根据权利要求1所述的大气电子束加工设备用电子枪，其特征在于：第二真空腔(5)上设有第二真空泵(6)，第二真空泵(6)由罗茨泵和机械泵组成。

5.根据权利要求1所述的大气电子束加工设备用电子枪，其特征在于：第三真空腔(2)上设有第三真空泵(4)，该第三真空泵(4)由分子泵和机械泵组成。

6.根据权利要求1所述的大气电子束加工设备用电子枪，其特征在于：阳极(3)的中央设有让电子束(15)顺利通过的阳极孔，该阳极孔为孔板结构。