[发明专利]一种光波导器件及其制作方法有效
申请号: | 201610632914.9 | 申请日: | 2016-08-04 |
公开(公告)号: | CN107688211B | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 李伟龙;孙雨舟;张永干;常江 | 申请(专利权)人: | 苏州旭创科技有限公司 |
主分类号: | G02B6/13 | 分类号: | G02B6/13 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 沈晓敏 |
地址: | 215123 江苏省苏州市工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 波导 器件 及其 制作方法 | ||
1.一种光波导器件制作方法,其特征在于,包括:
提供一基板;
于所述基板上形成一波导层;
于所述波导层上设置一第一掩膜板,所述第一掩膜板包括两个第一掩膜口;
以第一入射角度通过所述第一掩膜口照射所述波导层;
利用第二掩膜板替代第一掩膜板,所述第二掩膜板包括两个第二掩膜口;
以第二入射角度通过所述第二掩膜口照射所述波导层,其中,经过所述第一掩膜口与所述第二掩膜口的光线在所述波导层中形成有条状重叠区域或未被经过所述第一掩膜口与所述第二掩膜口的光线照射到的部分形成有条状重叠区域;
经显影后于所述基板上形成所述两个第一掩膜口和所述两个第二掩膜口共同限定的条状波导。
2.根据权利要求1所述的光波导器件制作方法,其特征在于,所述第一入射角度和所述第二入射角度的其中之一为钝角,其中另一为锐角。
3.根据权利要求1所述的光波导器件制作方法,其特征在于,于所述基板、波导层的堆叠方向上,所述条状重叠区域的截面为多边形。
4.根据权利要求1所述的光波导器件制作方法,其特征在于,所述第一掩膜口和/或所述第二掩膜口的开口宽度沿第一方向逐渐变小,所述第一方向为所述条状波导入射区域朝向出射区域的方向。
5.根据权利要求1所述的光波导器件制作方法,其特征在于,所述步骤“经显影后于所述基板上形成所述两个第一掩膜口和所述两个第二掩膜口共同限定的条状波导”包括:
经显影后留下未照射区域;
选取连接所述基板的部分未照射区域作为条状波导,且沿所述基板、波导层的堆叠方向上,所述条状波导的截面为多边形。
6.根据权利要求1所述的光波导器件制作方法,其特征在于,所述步骤“经显影后于所述基板上形成所述两个第一掩膜口和所述两个第二掩膜口共同限定的条状波导”之前还包括:
利用第三掩膜板替代第二掩膜板,所述第三掩膜板包括第三掩膜口;
以第三入射角度通过所述第三掩膜口照射所述波导层。
7.一种光波导器件制作方法,其特征在于,包括:
提供一基板;
于所述基板上形成一波导层;
于所述波导层上设置一掩膜板,所述掩膜板包括至少两个掩膜口;
至少以两个不同入射角度通过所述掩膜口照射所述波导层,其中,至少以两个不同入射角度通过所述掩膜口的光线在所述波导层中形成有条状重叠区域或未被经过所述掩膜口的光线照射到的部分形成有条状重叠区域;
经显影后于所述基板上形成所述至少两个掩膜口共同限定的条状波导。
8.根据权利要求7所述的光波导器件制作方法,其特征在于,入射角度至少包括钝角及锐角。
9.一种用权利要求1-8中任意一项所述的光波导器件制作方法制作的光波导器件,其特征在于,沿所述基板、条状波导的堆叠方向上,所述条状波导的截面为多边形,所述截面沿平行于所述基板的方向具有第一宽度,由所述基板承载所述条状波导的表面朝向所述条状波导中心的方向上,所述第一宽度具有增大趋势。
10.根据权利要求9所述的光波导器件,其特征在于,所述条状波导的第一截面的面积大于第二截面的面积,所述第一截面为所述条状波导入射区域的截面,所述第二截面为所述条状波导出射区域的截面。
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