[发明专利]一种用于抓取热点的芯片级样品的固定方法及装置在审
| 申请号： | 201610633204.8 | 申请日： | 2016-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN106291319A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 李辉;李桂花;仝金雨;肖科 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司11212 | 代理人： | 杨立,陈振玉 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 抓取 热点 芯片级 样品 固定 方法 装置 | ||
【说明书】：
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