[发明专利]高分子化合物、正型抗蚀剂组合物、层叠体及抗蚀剂图案形成方法有效
| 申请号： | 201610633731.9 | 申请日： | 2016-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN106432574B | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 土门大将;渡边聪;增永惠一;小竹正晃 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C08F212/14 | 分类号： | C08F212/14;C08F232/08;C08F220/38;G03F7/039;G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李英艳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高分子化合物 正型抗蚀剂 组合 层叠 抗蚀剂 图案 形成 方法 | ||
【说明书】：
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